晶圆级PL/深紫外发光光谱（PL）/CL测试服务
平均检测周期:2个工作日
价格: 400
全反射X射线荧光光谱分析TXRF
平均检测周期:5个工作日
价格: 3500/3个-5500/5个
热重—质谱—红外联用系统
平均检测周期:3-5个工作日
价格: 面议
变温XPS测试
二次离子质谱 D-SIMS
价格: 2000-4500
电子探针显微分析仪 EPMA +软X射线分析谱仪 SXEX
价格: 800
俄歇电子能谱仪 AES
价格: 2500
X射线光电子能谱XPS/原位变温XPS/原位辐照XPS/微区XPS
D-SIMS
X射线衍射 XRD
价格: 10
晶圆平面度分析TTV、TIR、LTV、BOW、WARP等
平均检测周期:7
高速高分辨显微共焦拉曼光谱仪Raman
晶圆表面沾污分析-VPD ICPMS
红外光谱FTIR
价格: 100
紫外-可见光-近红外分光光度计UV-VIS-NIR
平均检测周期:7天内
价格: 200
GD-MS/辉光放电质谱/GDMS
平均检测周期:5个工作日内
价格: 2000/全元素
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