GD-MS/辉光放电质谱/GDMS

特点:

固体直接进样

无标样定量

全元素同时分析

测量范围宽，可由ppb级至基体含量

可出CNAS报告

GDMS测试原理

在辉光放电质谱的离子源中被测样品作为辉光等离子体光源的阴极，在阴极与阳极之间充入惰性气体(一般为氩气)，并维持压力为10-1000 Pa。在电极两端加500-1500 V的高电压时，Ar电离成电子和Ar+，Ar+在电场的作用下加速移向阴极。阴极样品的原子在氩离子的撞击下，以5-15eV的能量从阴极样品上被剥离下来(阴极溅射)，进入等到离子体，在等离子体中与等离子体中的电子或亚稳态的Ar原子碰撞(Penning)电离，变成正离子：M+e-→M++2 e-，M+Ar*一M++Ar+ e-

导体样品

片状:12-20mm*12-20mm*2-5mm ，表面平整光洁

针状: 2-3mm*2-3mm*22mm ;表面平整光洁

非导体样品

粉末: 均匀性好，不含水份

案列:

1.可对超薄薄膜纯度进行分析

案例1：对100um碳化硅薄膜全元素分析

案例2:对60um碳化硅薄膜全元素分析