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服务描述
产品描述：在Si(001)晶圆上生长砷化镓薄膜的外延片
产品特点：
高平整度 RMS~1nm
穿透位错密度 ~106/cm2量级
良好的耐热性 ＜300 ℃
应用
硅基激光器、硅基放大器、硅基探测器、硅基光电子集成
案列展示
表面AFM图，RMS:0.55nm
截面SEM图
项目介绍
样品要求
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产品描述：在Si(001)晶圆上生长砷化镓薄膜的外延片
产品特点：
高平整度 RMS~1nm
穿透位错密度 ~106/cm2量级
良好的耐热性 ＜300 ℃
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