霍尔测试

主要测试设备：PPMS

接触式霍尔测试，样品需要做电极，且需要形成欧姆接触。不同半导体材料所用电极材料不同，有些需要溅射多层金属再合金化。米格目前只能帮客户做铟电极或者p金电极

测试数据：载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、载流子类型

测试温度：常温300k，变温2k-1000k

测试材料：Si、GaAs、ZnO、SiGe、SiC、InGaAs、InP、GaN、合金、石墨烯等

样品要求

（1）可以是矩形/圆形或不规则形状但最好是方片，要求样品无孔洞或缺陷

（2）要求样品厚度均匀表面光滑块体样品表面的粗糙度最好控制在微米级别薄膜样品表面的粗糙度最好控制在纳米级别

（3）薄膜样品要求基底不导电且需要知道样品导电层的准确厚度；粉末样品需要压片后才能测试

（4）样品四个角需要做好电极且样品与电极形成欧姆接触

（5）常规样品尺寸，3 mm＜长度＜10 mm 3 mm＜宽度＜10 mm 0.1 mm＜厚度＜3 mm

注意问题

(1) 样品是磁性材料，有反常霍尔效应。此时，正常霍尔效应信号通常会包含在反常霍尔效应之中，导致结果不准确

(2) 样品有拓扑霍尔效应和平面霍尔效应等信号，会影响结果

(3)样品是双载流子导电，即电子和空穴都能贡献可观的霍尔信号。通常需要9T甚至更大的磁场才能分析得到电子和空穴各自的信息