晶圆薄膜应力/翘曲测试

原理和仪器

 图1 kSA MOS Ultra Scan及测试原理

技术参数

（1）XY双向程序控制扫描平台扫描范围：300mm (XY)（可选）

（2）XY双向扫描速度：可达20mm/s

（3）XY双向扫描平台扫描步进分辨率：2μm 

（4）样品holder兼容：50mm 75mm 100mm 150mm 200mm and 300mm直径样品

（5）程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、全面积扫描

（6）成像功能：样品表面2D曲率、应力成像，及3D成像分析

（7）测量功能：曲率、曲率半径、应力强度、应力、Bow和翘曲等

客户提供

（1）晶圆/薄膜材料+尺寸

收费与具体尺寸有关

2-8寸晶圆

案例一

案例二

案例三