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半导体集成技术工程中心部门

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半导体集成技术工程研究中心做为半导体所公共技术服务中心，是一个综合性的半导体工艺技术加工平台，首要任务是为研究所的科学技术发展提供有力的半导体工艺技术支撑；重点攻克具有潜在市场价值科研成果的关键技术，促进成果的快速转化；重点开发国家重大战略需求和国民经济发展需求的关键微纳制造技术，促进研究所的快速发展；面向所内外开放，建成国际一流的人才培养、研发及合作交流中心。

二次离子质谱 D-SIMS

周期：3-5个工作日

价格：￥2000-4500