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晶圆翘曲应力测试仪 瑞霏光电
型       号:Stress Mapper
名       称:晶圆翘曲应力测试仪
品       牌:瑞霏光电

翘曲范围:200nm-10mm

薄膜应力范围:2MPa-5000MPa

重复性:2MPa

相对精度:1%

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