"垂直扫描范围：30 μm 、100μm、5mm、10mm 垂直扫描分辨率：0.01nm 分辨率：752×480像素（可选1k×1k ） 侧向分辨率：0.11-8.8 μm RMS重复精度：1nm 视场范围：8mm×10mm-0.084mm×0.063mm 校正精度：＜＜0.1% 反射要求：1%-100%"

粗糙度、磨损体积、3维形貌

材料、半导体、机械制造领域

三维表面轮廓测量和粗糙度测量，台阶高度测量，磨痕的深度、宽度和体积定量测量，空间分析和表面纹理表征，平面度和曲率测量，二维薄膜应力测量，表面质量和缺陷检测等

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