微纳功能器件是构成微光学、微电子、微流体、微生物支架以及超材料等微型系统的重要元件，其特有的微观形态结构使其具备了独特的光、电、磁、力、热等特性，近年来在航空航天、军事、通信、生物医疗等多种领域有着日益增长的应用需求。

技术指标：

最大工作行程： 100mm×100mm×100mm（可定制）

激光光源：100fs  80MHz  800nm（可定制）

最小位移分辨率：1nm

最小加工分辨率：100nm

特点：

1.大面积快速结构化加工

2.快速进给中三维椭圆拟静态精准曝光

关键技术：